頻譜分析儀的主要技術指標有頻率范圍、分辨率、分析譜寬、分析時間、掃頻速度、靈敏度、顯示方式和假響應。

頻率范圍

頻譜分析儀進行正常工作的頻率區間?，F代頻譜儀的頻率范圍能從低于1赫直至300吉赫。

分辨力

頻譜分析儀在顯示器上能夠區分鄰近的兩條譜線之間頻率間隔的能力，是頻譜分析儀重要的技術指標。分辨力與濾波器型式、波形因數、帶寬、本振穩定度、剩余調頻和邊帶噪聲等因素有關，掃頻式頻譜分析儀的分辨力還與掃描速度有關。分辨帶寬越窄越好?，F代頻譜儀在高頻段分辨力為10～100赫。

分析譜寬

又稱頻率跨度。頻譜分析儀在一次測量分析中能顯示的頻率范圍，可等于或小于儀器的頻率范圍，通常是可調的。

分析時間

完成一次頻譜分析所需的時間，它與分析譜寬和分辨力有密切關系。對于實時式頻譜分析儀，分析時間不能小于其窄分辨帶寬的倒數。 
掃頻速度：分析譜寬與分析時間之比，也就是掃頻的本振頻率變化速率。

靈敏度

頻譜分析儀顯示微弱信號的能力，受頻譜儀內部噪聲的限制，通常要求靈敏度越高越好。動態范圍指在顯示器上可同時觀測的強信號與弱信號之比?，F代頻譜分析儀的動態范圍可達80分貝。

顯示方式

頻譜分析儀顯示的幅度與輸入信號幅度之間的關系。通常有線性顯示、平方律顯示和對數顯示三種方式。

假響應

顯示器上出現不應有的譜線。這對超外差系統是不可避免的，應設法抑止到MIN，現代頻譜分析儀可做到小于-90分貝毫瓦。